Research
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隨著科技的發展,摩爾定律在維持其效率的前提下,製程的複雜度與困難度愈發提升,為了延續摩爾定律以提升元件性能及電路表現,在晶圓製造與電路設計的階段加入新的概念是頂尖半導體產業必經之路。然而,製程實驗所耗費的時間與成本隨著製程複雜程度提升也隨之增長,利用電腦軟體進行模擬是兼具時間與費用成本之節省最佳考量。
Sentaurus TCAD的核心概念是以牛頓迭代法對適當的偏微分方程式求解,藉由設定不同的邊界條件,加入合適的物理模型以模擬半導體元件的製程結果、電性表現,對於未來晶圓製造、電路設計乃至於半導體產業極具應用價值。本實驗室運用TCAD模擬軟體進行先進元件架構之各項研究。 先備知識: 半導體元件物理、近代物理、電子學 |